本裝備接納了裝載鎖定（Load lock）式鍍膜體例。比擬通俗裝備加重了裝備的保護承擔，和為求省力化，設想了對應前后工程主動化的裝配。
別的，接納了扭轉式（Carousel）鍍膜，能夠對應高溫鍍膜需要。
提要
- 裝載鎖定式濺鍍裝備
- W240×L900mm托盤×18片一起處置
- 能夠利用3種差別資料停止鍍膜
特點
２． 敞開心扉了受壓陰離子，貽誤了靶材的借助生命周期３． 整合了生產批號內，生產批號間膜厚捏造事實４． 對比我廠φ1700mm玻璃鍍膜裝配，主產地性更好 的基板的單元尺寸戶型發熱量量核減了65% 設置好總面積的生產加工包能約為2.8倍 ５． 能擴充自動化的功效
首要用處·利用例
１． 用到樹脂材料基鋼板定義避開射線膜 ２． 用于平板玻璃基板構成光學濾鏡
